作者:刘丽,张彤,漆奇,陈维友,徐宝琨 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》2007年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX2007040270 DOC编号:DOCBDTX2007040279 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料,设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0,功耗为261mW,是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3,响应时间约为1.5s,恢复时间约为2.5s,是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器。

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