作者：周铁英 单位：中国科学院声学研究所东海研究站;同济大学声学研究所;上海市声学学会;上海船舶电子设备研究所 出版：《声学技术》2006年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSXJS2006030170 DOC编号：DOCSXJS2006030179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 回顾了超声键合用换能器的发展状况，特别是在我国的研究状况。对超声键合用换能器的研究方法进行了总结，例如等效网络法、直接解振动与波动方程法、有限元法。不少单位已经编制了等效网络法的计算程序，可以迅速准确地得到细长和简单换能器结构的频率特性和导纳曲线；利用有限元软件可以计算复杂结构的换能器特性，是当今设计仿真的有效工具。论文结合当前微电子、集成芯片对超声键合的大量需求，展望了超声键合换能器的发展前景。除高频换能器和小体积的换能器需要进一步研究外，性能更加稳定和优良的换能器依然是研究的热点。

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