作者：张俊杰,宁敏东 单位：洛阳师范学院 出版：《洛阳师范学院学报》2006年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLSZB2006050190 DOC编号：DOCLSZB2006050199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种基于MEMS和表面微加工工艺的差分式微电容加速度计，并通过分析，构建了该加速度计的数学模型，并简要介绍了该加速度计的一些简单应用。

    📙 相关资料

    1. 《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC 本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。...
    2. 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC 本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构，实现平面上的加速度监测，灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。...
    3. 《MEMS传感器在汽车中的应用及发展》PDF+DOC 介绍汽车MEMS(微电子机械系统)传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。...
    4. 《基于MXT9030的微电容加速度计系统搭建》PDF+DOC 阐述了三明治式电容微加速度计的工作原理，并在此基础上介绍了一种具体的三明治式微加速度计的设计：采用一种通用的电容读取电路MXT9030实现对电容式微加速度传感器的信号检测，通过微控制器的控制，调节MXT9030电路的内部参数，使加速度计系统具有良好的线性度及灵敏度。实验结果表明，该设计可满足较大范围......
    5. 《新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究》PDF+DOC 增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声，而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因，当深宽比较大时，不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此，本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器，通过电磁驱动器，传感器的静态测试电容可以大幅增加，在梳齿电容上刻蚀阻......
    6. 《MEMS在惯性测量中的应用》PDF+DOC 对MEMS在惯性测量中的应用状况进行了总结 ，介绍了加速度计和陀螺仪的基本工作原理和商业化情况 ，提出了我国发展微机械惯性传感器的一些发展思路...
    7. 《MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试》PDF+DOC 介绍了一种用硅–硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器，并给出了详细的制作工艺。文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析，最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试，测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作，且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度，其应用......
    8. 《电容式加速度微传感器》PDF+DOC 介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理，并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析，得出加速度和电容之间的非线性关系，证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程，制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。...
    9. 《不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器》PDF+DOC 利用ICP体硅深加工，本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式，垂直方向采用不等高对称梳齿式；对称的布局方式，解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟，证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0......
    10. 《一种小型电容敏感式加速度计的研制》PDF+DOC 利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件，研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件，经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系。经过实验测试，加速度计的灵敏度大约为391.12mV/(m.s-2)。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。