作者：杨雪芳,蔡萍,王卫钢,杨重远 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2005年第07期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2005070020 DOC编号：DOCYBJS2005070029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了基于周期比较测量法的全数字式容栅位移传感器的工作原理和系统构成，分析了该传感器的性能参数和测量精度，设计了容栅传感器的三层极板结构形式和正余弦电极形式，针对容栅传感器的边缘效应给系统带来的非线性误差，提出了结构级的线性化方案，利用单片机和通用器件实现该传感器系统，并给出了实际测量结果，验证了系统方案的可行性。

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