作者：邹自强,李明媛,邹光宇 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2006年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2006020220 DOC编号：DOCYQXB2006020229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论了超级千分表的工作原理和优点，描述了超级千分表关键参数及其检测方法。其中，由于百万分表(纳米表，纳米测长仪)的技术难度最大，所以文中侧重讨论它的检测。大量实测数据表明：百万分表的测量重复性(标准偏差)在0.6~1.2nm范围内；在未作任何误差修正的条件下，示值误差=&#177；(30~60)nm；以光波波长作为基准进行误差修正后，示值误差可达&#177；(10~20)nm，细分误差≤&#177；5nm。

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