作者:朱婷,朱大中 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第04期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006040020 DOC编号:DOCCGJS2006040029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 新型的细胞外电信号传感芯片是采用0.6μm标准CMOS工艺设计制造,片上集成了6×6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路。有源传感单元面积为60μm×60μm,包含15μm×15μm的传感电极和预处理电路,能够线性放大幅值范围100μV~25mV的微小信号,电压增益为40dB。并采用相关二次采样工作模式降低固定模式噪声,提高传感器的精度。在标准CMOS工艺基础上,应用无电浸镀金改进传感电极的生物兼容性,并采用特殊封装技术提高芯片在溶液环境中的稳定性。溶液中模拟生物信号测量验证了该芯片的功能。

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