作者:黄萍,裴素华,孙海波,于连英,李秀琴 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2005年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2005060020 DOC编号:DOCCGQJ2005060029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 按旁热式结构采用以TiO2为基质对InSb2O3Nb2O5氧化物不同的重量比去掺杂研制成的三甲胺(TMA)气体传感器,大幅度降低了加热功率和其在空气中的阻值,器件对响应TMA气体具有灵敏度高、响应时间快、恢复时间短、长期稳定等特点,对干扰气体NH3具有良好的选择性。

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