作者:孙建波,秦明,黄庆安 单位:东南大学 出版:《东南大学学报(自然科学版)》2005年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDNDX2005060110 DOC编号:DOCDNDX2005060119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 给出了一种完全基于CMOS工艺的热风速传感器及其封装的结构、工作原理以及测试结果.该传感器由加热元件和测温元件构成,多晶硅加热电阻元件产生一定的温度分布,CMOS纵向衬底晶体管实现由风速导致的温度变化的测量.传感器的封装采用导热胶在背面贴陶瓷的方式进行.该传感器采用恒温差工作模式,风速测量采用热损失型原理,测试电路是由仪器放大器组成的控制和测试系统.经过风洞测试,风速的测量可以达到30m/s,风速分辨率达到0.5m/s.传感器的功耗最大值小于100mW。

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