作者：颜鹰,史铁林 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2005年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2005020030 DOC编号：DOCYBJS2005020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新型高精度高温压力传感器，此压力传感器以硅片为弹性片，敏感材料为Ni-Cr合金，利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析，再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布，研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻的最佳布置区域，提高了传感器的灵敏度。

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