《基于MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC
作者:颜鹰,史铁林
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2005年第02期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2005020030
DOC编号:DOCYBJS2005020039
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提出了一种新型高精度高温压力传感器,此压力传感器以硅片为弹性片,敏感材料为Ni-Cr合金,利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析,再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布,研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻的最佳布置区域,提高了传感器的灵敏度。
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