《热式气体质量流量传感器研究与发展》PDF+DOC

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2. 《热式和多相流式等多种流量传感器的研究与发展》PDF+DOC 流量传感器应用非常广泛，对社会各行业的发展起着极大的作用.它的种类繁多，发展历史较长，人们已做了很多工作.本文主要介绍热式、多相流式等流量传感器的发展情况及技术动态.认为向数字化、智能化、多功能化、网络化发展是流量传感器将来发展的必然趋势。...
3. 《硅流量传感器的发展》PDF+DOC 概述了近年发展起来的、利用热传导原理的固态硅流星传感器。这类传感器具有灵敏度高、响应快、易于智能化、批量化和造价低等特点。适用于小流量测量。图4幅参18...
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5. 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定》PDF+DOC 设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器，芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离，流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异，设计了适用于批量制造的标定方法。测试结果表明：传感器具有平滑......
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10. 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm&#215；5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作，可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器，从......