作者:任苙萍 单位:电子工业出版社 出版:《电子与电脑》2005年第10期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZDN2005100640 DOC编号:DOCDZDN2005100649 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于激光引导的应急疏散系统设计与实现》PDF+DOC2015年第12期 刘臻,朱飞勇 《激光三角位移传感器光斑自检法研究》PDF+DOC1999年第03期 张文伟,申金媛 《激光扫平自动控制系统》PDF+DOC1997年第02期 《PSD激光直线度测量仪》PDF+DOC1997年第02期 丁喜波,景桂艳,杨玉春,袁江 《激光在武器上的应用》PDF+DOC 奚永辉 ,周亚明 ,田京生 《超短超强激光波前修正》PDF+DOC2004年第06期 王兆华,金展,郑加安,王鹏,魏志义,张杰 《激光动态光束定向系统的跟踪识别过程仿真》PDF+DOC2008年第08期 岳玉芳,张飞舟,张玉双,安建祝 《基于CMOS传感器的高速高精度激光光束自动准直系统》PDF+DOC2013年第09期 李耀,王丁,郭晓杨,冷雨欣 《光栅扫描检测电路的设计》PDF+DOC1997年第03期 鲍国华 《激光平台精密微力测量系统的设计与实现》PDF+DOC2006年第06期 王一红,王凤
  • 在晶圆的检测上,由于采用X—Y调整机械式需搭配一些辅助外围,维护成本不低,且较容易有检测死角,自动光学检测(AOI)自然成了首选途径。其中,激光由于速度快、穿透力强且涵盖面广,可同时测量多点而不产生变形或留下痕迹,更适合高速测量并检查关键尺寸,而逐渐替代了早期的LED光源检测。激光检测的原理是将激光光束聚焦到晶圆表面,再将光束反射回传感器并于其上收集资料。在光学技术领域表现突出的CyberOptics公司,便是其中佼佼者。

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