《基于塞贝克效应的半导体气敏传感器的研制》PDF+DOC
作者:余华梁,黄世震,林伟
单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会
出版:《功能材料与器件学报》2005年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGNCQ2005030260
DOC编号:DOCGNCQ2005030269
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利用塞贝克效应研制成功ZnO半导体气敏传感器。这种新型传感器能够输出0-100mV的直流电压,对于信号的放大与处理将十分方便。在实验中对20×;10-6NO2气体进行检测,结果表明:传感器的输出电压(温差电动势),随着待测气体浓度而变化。因此,利用温差电效应制作气敏传感器是一条完全可行的新思路。
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