作者：殷刚毅 单位：东南大学 出版：《电子器件》2005年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2005030570 DOC编号：DOCDZQJ2005030579 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为实现MEMS器件系统级的模拟，运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元。本文以悬臂梁结构的微传感器为例，描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型，并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证，最后通过我们自行开发的IP库单元建立接口软件对单元进行了封装与入库。

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