作者：宋光德,刘娟,栗大超 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2005年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2005020140 DOC编号：DOCNMJM2005020149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 与传统的压电传感器相比，电容式微加工超声传感器(cMUT)性能优良，有着广泛的应用前景.为此，介绍了cMUT的基本结构和工作原理，并提出了一种新型结构.利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行模态分析，得到其共振频率和一阶振动图；利用ANSYS的耦合场分析模块和参数化设计语言(APDL)，对结构进行力电耦合仿真，获得其直流偏压和作为发射器时所需的交流电压值.分析结果表明，所设计的结构符合设计要求。

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