作者：赵卫萍,孙以材,王小捧,宫云梅 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2005年第12期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2005120030 DOC编号：DOCCGSJ2005120039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文首先扼要介绍了ZnO的晶体结构以及作为压电、压敏、发光、透明导电薄膜的用途。还介绍了两种溅射方法制备ZnO薄膜。研究了ZnO薄膜的气敏性，发现经适当处理后仅对丙酮有择优气敏性。

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