作者：邱丽荣,丁雪梅,赵维谦,马宏文 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2005年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ20050500I0 DOC编号：DOCGDZJ20050500I9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种基于激光偏振光差动像散原理的非连续曲面绝对跟踪检测方法与技术。该方法依据被测表面反射到位于两柱面镜焦面、焦后等距放置的两探测器上的偏振光的形状，再经两探测器探测信号差动相减和光强归一化处理得到聚焦误差信号，进而达到对非连续三维被测表面的绝对测量和触发瞄准。偏振光差动像散传感器中，由于引入偏振光入射和偏振分光镜分光，使构成的偏振光差动像散检测技术有效抑制光源波动、光学器件间光束的多次反射等对测量结果的影响，显著改善了差动像散离焦检测技术的抗干扰能力和线性。该光学传感器的测量范围为&#177；10μm，分辨力优于0.005μm，可测表面倾角达20&#176；。

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