作者：万灵,温殿忠,白续铎,唐祺,肖艳玲 单位：黑龙江大学 出版：《黑龙江大学自然科学学报》2005年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLDZ2005060290 DOC编号：DOCHLDZ2005060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜，以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理，硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构，以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明，在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲线线性度良好。

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