《电化学微细加工监控系统的研究》PDF+DOC
作者:徐惠宇,朱荻,史先传
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2005年第07期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2005070030
DOC编号:DOCCGQJ2005070039
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在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点。
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