作者：陈位荣,贾振红,吕小毅,李鹏 单位：新疆大学 出版：《新疆大学学报(自然科学版)(中英文)》2016年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXJDZ2016030120 DOC编号：DOCXJDZ2016030129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 我们结合光刻和电化学腐蚀方法，成功在单晶硅衬底上制备出一个8&#215；8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件，微阵列的每个阵列单元直径300μm，间距200μm.研究了这种微阵列在633nm激光入射情况下的光学特性.利用我们制备的多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件，借助数字图像测量方法，可实现快速的检测.本文的研究结果可应用于生物传感器阵列的检测。

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