《基于液相外延生长的集成式微探尖》PDF+DOC
作者:梁秀萍,张红治,孙晓娟,胡礼中
单位:集美大学
出版:《集美大学学报(自然科学版)》2005年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJMXZ2005040140
DOC编号:DOCJMXZ2005040149
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阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏、难以对准等技术难题.该制作过程具有重复性较好,设备简单、经济,实用价值较高等优点。
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