作者:余华梁,黄世震,林伟,陈伟 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2005年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2005020290 DOC编号:DOCCGJS2005020299 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 材料的制备是研制半导体气敏传感器的关键环节。用气相反应法,以纯钨丝为原料,制备了WO3粉末,又以此WO3粉末为基材,制作了NO2气敏传感元件。在性能测试中发现,该元件对低浓度(10-10)NO2灵敏,灵敏度可达10倍左右,而且响应迅速,响应时间为1.5s。文中从材料的微观结构入手,对材料的敏感机理作了分析。

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