作者：樊玉铭,张国雄,高翔,李智,赵树忠 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2005年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ20050400G0 DOC编号：DOCJJZZ20050400G9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在研究动态主动调焦法测量原理的基础上，提出一种新型的动态主动调焦式激光测头的检测方法。该检测方法的核心原理是将位移量的测量转换成了时间差的测量，从而简化了激光测头的结构，提高了激光测头的测量精度和稳定性。介绍了所设计的高精度激光测头测量系统，并对激光测头进行了动态特性的实验。结果表明激光测头的测量分辨力为0 .075μm，测量线性度为0. 45μm，测量范围为&#177；0 .1 mm。

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