作者：张玮,崔鸿波,刘刚 单位：中国电子科学研究院 出版：《中国电子科学研究院学报》2005年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJPL2005030060 DOC编号：DOCKJPL2005030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文从射频微波观点回顾了微电子机械系统(MEMS)技术进展，重点讨论在射频领域，特别是在雷达T/R组件上有望广泛应用的器件、组件以及系统。意在唤起重视MEMS技术在雷达上的推广应用，有益于雷达事业的蓬勃发展。

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