作者：武利翻 单位：中国电子科技集团公司光电研究院 出版：《光电技术应用》2005年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDYG2005010110 DOC编号：DOCGDYG2005010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • CCD(电荷藕合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器.介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺，并详细介绍了其关键工艺氧化、光刻、离子注入，还对各工艺所遇到的问题、相应的解决方法及发展状况进行了阐述。

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