作者：郑志霞,林雁飞,冯勇建 单位：厦门大学 出版：《厦门大学学报(自然科学版)》2005年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDZK20050300K0 DOC编号：DOCXDZK20050300K9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件，腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现，PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min，而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此，文中详细介绍了运用一次光刻，多次坚膜，多次腐蚀的工艺，来达到对PYREX7740玻璃进行深腐蚀的方法.实验结果表明，光刻胶厚度、坚膜时间、坚膜次数和坚膜温度都与光刻胶的浮胶有关，最后给出了不同条件下凹槽深度与所需的曝光和显影时间的关系，槽越深需要的曝光和显影时间越长.这对于用PYREX7740玻璃制作MEMS器件具有重要意义。

    📙 相关资料

    1. 《LIGA技术在微传感器制造中的应用》PDF+DOC LIGA是德文：LI(Rontgen Lithogra-phie)、G(Galvanik)和A(Abformung)三词词头拼合而成.意思是X射线光刻、电铸成型和塑料铸模三个手段顺序组合，进行操作的一种新技术，它是微细加工的一种新方法.它的典型工艺过程见图1([1.4])。...
    2. 《发明与专利》PDF+DOC 氮化钽的刻蚀方法、磁传感器的形成方法申请号：201410006637【公开号】CN103700623A【公开日】2014.04.02【分类号】H01L21/768【申请日】2014.01.07【申请人】上海华虹宏力半导体制造有限公司【发明人】张振兴；奚裴；熊磊【摘要】一种氮化钽的刻蚀方法、磁传感器的......
    3. 《MEMS器件刻蚀工艺优化》PDF+DOC 基于MEMS器件的特殊结构，介绍了硅基电容式传感器MEMS器件刻蚀工艺的实现，工艺包含厚膜光刻、双面对准套刻和深沟槽刻蚀等难点。通过调整掩蔽层光刻胶的厚度，保持较高线宽分辨率的同时实现了硅片深沟槽的刻蚀加工；采用俄罗斯5026A型双面光刻机实现了硅片的对准套刻，成功实现了电容式传感器器件结构的刻蚀工......
    4. 《LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用》PDF+DOC 介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合 ，制造可动微结构的工艺方法。并给出了可实现摆动、转动的可动微结构———微执行器、微传感器和三维加速度传感器的制造过程等应用实例...
    5. 《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC 介绍了微型机械的基本概念和特点，综述了微型机械的加工技术和应用途径，讨论了微型机械的发展方向和趋势。...
    6. 《我国微型机械技术发展的新模式和新趋势》PDF+DOC 微型机械技术是 2 1世纪核心技术之一 .文中介绍了微型机械技术发展的新模式和新趋势 ，以及几种具有代表性的微型机械的优先发展和应用 ；指出应把微型机械的研究思路与运用途径的确定放在极其重要的位子...
    7. 《准LIGA技术的研究与发展》PDF+DOC 介绍近年来准ＬＩＧＡ技术发展的概况，着重讨论国内外对它的各个工艺过程所采取的一些措施及其在微传感器和微执行器中的应用，并简单论述它的发展趋势。...
    8. 《LIGA技术研究与进展》PDF+DOC 本文综述了ＬＩＧＡ技术。介绍了国内外对ＬＩＧＡ技术的改进与推广，并讨论了ＬＩＧＡ技术在传感技术中的应用...
    9. 《偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析》PDF+DOC 为了测得电容式传感器的电容变化，一般需要有直流偏置电压的交流驱动信号加到传感器上，然而驱动信号产生的静电力会干扰传感器的测量和可靠工作条件。文中分析差分电容传感器受到阶跃加速度信号作用时，不同偏置电压极性对可靠工作条件的影响，得到不同偏置电压极性下传感器的临界阶跃加速度与随测试信号电压和反馈系数的关......
    10. 《微传感器压力测量系统》PDF+DOC 压力是应用最为广泛的物理参数之一，压力测量在工业生产中必不可少。在研究微电容传感器的基础上，分析了压力测量的工作原理，提出一种基于微电容传感器的压力测量的设计方法，给出适合该种传感器的信号检测电路和压力测量系统组成。实践表明，此设计方法具有较高的准确性和应用推广价值。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。