作者：王军军,谢海芬,周嘉,黄宜平 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2004年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2004050020 DOC编号：DOCMINI2004050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研究中愈来愈受到重视。文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展，介绍了几种可能用于化学和生物探测的高性能微悬臂梁传感器。

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