《一种基于温差测量原理工作的集成型流量传感器》PDF+DOC
作者:吴晓波,赵梦恋,严晓浪
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2004年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2004010250
DOC编号:DOCCGJS2004010259
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在比较已有的几种低流速流体的流速流量测量方法基础上 ,提出一种利用与流速相关温差的测量方案 ,并用芯片集成方法构成流量传感器加以验证 ,实验结果与理论预期基本相符。该传感器的主要优点是在低流量条件下具有高灵敏度。
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