作者:李明,王鸣,王婷婷,聂守平 单位:南京师范大学 出版:《南京师范大学学报(工程技术版)》2004年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFNJSE2004040050 DOC编号:DOCNJSE2004040059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟》PDF+DOC2005年第04期 李明,王鸣,王婷婷,聂守平 《一种全石英光纤法布里-珀罗大量程压力传感器的研制》PDF+DOC2016年第03期 王俊杰,谢俊 《光纤法布里—珀罗腔式冲击波压力传感器及其应用研究》PDF+DOC2014年第S2期 周会娟,余尚江,杨吉祥,陈晋央,郭士旭,贾超 《本征不对称光纤法布里-珀罗干涉仪的理论模型》PDF+DOC2000年第07期 毕卫红 《本征法布里-珀罗腔光纤压力传感器理论研究》PDF+DOC2012年第05期 王宁,毛洁莹,朱化凤 《光纤压力传感器制作研究》PDF+DOC2012年第S1期 张立喆,张力,段玉培,黄彩霞 《157nm激光微加工制作的微光纤压力传感器》PDF+DOC2011年第12期 倪敏,冉曾令,鲁恩,饶云江 《热应力和残余气压对光纤法布里-珀罗压力传感器温度性能的影响》PDF+DOC2015年第03期 吴振海,刘铁根,江俊峰,刘琨,王双,尹金德,邹盛亮,秦尊琪,吴凡 《基于氧化锆陶瓷的光纤F-P腔压力传感器研究》PDF+DOC2019年第08期 肖磊,邵宇鹰,庞拂飞,刘奂奂,彭鹏 《基于微椭球空气腔的光纤压力传感器的设计》PDF+DOC2017年第06期 王婷婷,李志鹏,沈娟
  • 设计了一种基于微机电系统 (MEMS)的光纤压力传感器 ,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里珀罗腔的理论模型进行解释 .推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式 .并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟 ,得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值 ,其中腔体半径为 3 0 0 μm、腔体深度为 2 .42 μm、硅横膈膜厚度为 2 3 μm .该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础 。

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