作者：鄢云 单位：西安航空学院 出版：《西安航空学院学报》2004年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXHGZ2004030090 DOC编号：DOCXHGZ2004030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微系统与纳系统技术(上)》PDF+DOC2001年第09期 周兆英,冯焱颖 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《MEMS在电气设备中应用探讨》PDF+DOC2003年第10期 康明才,吴军基,黄锦安 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2003年第01期 朱健 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景》PDF+DOC2002年第10期 陈克铭 《微电子机械系统(MEMS)中的铁电器件》PDF+DOC2002年第S1期 刘如净,张之圣,胡明 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫

    • 简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ，并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ，执行器等作了介绍与分析 ，提出了微系统之间要研究的问题 ；探讨了微电子机械系统的发展应用前景

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