作者:陈志铁 单位:厦门广播电视大学 出版:《厦门广播电视大学学报》2004年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXMGD2004010110 DOC编号:DOCXMGD2004010119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微机械加工光波导压力传感器的设计》PDF+DOC2002年第01期 许高攀,胡国清 《集成硅微机械光压力传感器》PDF+DOC1995年第03期 温志渝,费龙 《基于石墨烯材料的传感器研究概述》PDF+DOC2018年第01期 赵淑平,何栩翊 《传感器》PDF+DOC1996年第01期 《集成硅微机械光压力传感器的研制工艺》PDF+DOC1996年第S1期 温志渝,钟先信,费龙,胡松 《基于MEMS微镜的光栅波导角度调制生物传感器设计与研究》PDF+DOC2016年第04期 陆安江,白忠臣,肖伟,张正平,秦水介 《柔性力敏传感器研究与应用分析》PDF+DOC2020年第17期 倪永康,刘启发 《波导光栅耦合器》PDF+DOC1997年第02期 袁纵横,刘永智,庞涛 《新型反谐振反射光波导传感器的研究》PDF+DOC2007年第01期 成娟娟,谢康 《硅微机械谐振压力传感器技术发展》PDF+DOC2013年第20期 苑伟政,任森,邓进军,乔大勇
  • 随着波导材料的研究和进展,作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。

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