作者:崔海,姜正武,尹继红 单位:哈尔滨工程大学 出版:《应用科技》2004年第07期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYYKJ2004070030 DOC编号:DOCYYKJ2004070039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出了石英压力传感器中石英膜片的化学加工方法,从选材、原理及工艺设计、关键加工步骤及过程控制方法等方面进行了研究,并通过相关制作与实验证明该种加工工艺方法简单,具有一定的实用性。

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