《石英压力传感器石英材料的加工工艺》PDF+DOC
作者:崔海,姜正武,尹继红
单位:哈尔滨工程大学
出版:《应用科技》2004年第07期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYYKJ2004070030
DOC编号:DOCYYKJ2004070039
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提出了石英压力传感器中石英膜片的化学加工方法,从选材、原理及工艺设计、关键加工步骤及过程控制方法等方面进行了研究,并通过相关制作与实验证明该种加工工艺方法简单,具有一定的实用性。
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