作者：李颖 单位：燕山大学 出版：《燕山大学学报》2004年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDBZX2004040130 DOC编号：DOCDBZX2004040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种自行研究应用双光纤光栅作为传感元件的加速度传感器制作方案，在理论上论证了使用双光纤光栅对加速度的测量具有不受温度影响和增加灵敏度的优点。同时，分析了化学蚀刻在Si晶体上制作光纤光栅加速度传感器的具体工作过程，以及残余应力对传感器的影响。

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