作者：王文清,王晓璐,田子建 单位：中煤科工集团常州研究院有限公司 出版：《工矿自动化》2016年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMKZD2016020090 DOC编号：DOCMKZD2016020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器。该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率，使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移；通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度。理论分析结果表明，该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内，甲烷浓度测量范围为0~15%；对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果，得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大，测量灵敏度为60pm。

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