作者：曾爱军,王向朝,徐德衍 单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《激光与光电子学进展》2004年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGDJ2004070030 DOC编号：DOCJGDJ2004070039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展，详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器，并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。

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