作者：王鸣,聂守平,李明,李达成 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2004年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2004040020 DOC编号：DOCYQXB2004040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 有许多测量微位移的光干涉方法 ，然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ，因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ，分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ，用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号 ，可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制 ，并给出了 PZT位移的实验结果

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