作者：吴波,陈才和,张晓玲,崔宇明,张燕君,钟娟娟 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2004年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ2004110010 DOC编号：DOCGDZJ2004110019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理，对结构进行了分析设计，并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为：固有频率1353Hz，相位检测灵敏度1.2&#215；10-4rad/(m&#183；s2)。

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