作者:马瑞卿,刘卫国,刘景林 单位:西安微电机研究所 出版:《微电机》2004年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWDJZ2004060140 DOC编号:DOCWDJZ2004060149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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