作者：张以忱,刘希东,巴德纯,高航 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2003年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2003060020 DOC编号：DOCZKZK2003060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 滚动轴承是机械工业的基础元件，波及机械工业各个领域。普通的轴承承受着载荷的实时工作状态很难精确测定。基于微机电的薄膜传感器智能轴承技术，能实现轴承的实时在线自诊断，防止轴承失效及其引起的机器失效。本文介绍了基于微机电薄膜传感器的智能轴承的结构及组成，着重探讨了应用于智能轴承的薄膜传感器的特点、种类、安装形式，并指出智能轴承用薄膜传感器制备的关键技术问题。

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