作者：王德波,白文娟,郭艳艳,赵江,谌静 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2015年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2015030300 DOC编号：DOCMINI2015030309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为实现热电式MEMS微波功率传感器与电容式MEMS微波功率传感器的兼容，得到一种性能优良的双通道MEMS微波功率传感器，需要对MEMS悬臂梁的匹配特性进行分析与设计。根据MEMS悬臂梁的一维集中参数模型，分析了MEMS悬臂梁的吸合电压，研究了MEMS悬臂梁的位移与电容的变化关系以及MEMS悬臂梁的谐振频率，得到了MEMS悬臂梁的匹配特性与MEMS悬臂梁高度的变化关系。实验结果表明，当MEMS悬臂梁的高度设计为10μm时，MEMS悬臂梁的谐振频率为16.13kHz，在8~12GHz频率范围内，回波损耗均小于-19dB。

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