作者：席占稳 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003110110 DOC编号：DOCCGQJ2003110119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器，对制作的加速度传感器样品进行了动态测试，单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn，双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn，结果与理论设计值基本吻合。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作，因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感......
    2. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    3. 《用于汽车的硅压力和加速度传感器》PDF+DOC 用于汽车的硅压力和加速度传感器张传忠许多压力和加速度传感器都是以硅微电子学技术为基础的。由于硅传感器可作为敏感元件与表面电路集成在同一基片上，所以硅压力传感器广泛地用来检测歧管绝对压力。与普通的应变现传感器相比，硅的机械和弹性特性要好得多。它作为一种..。...
    4. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ；通过分析和实践 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    5. 《压阻式力敏硅传感器的结构剖析》PDF+DOC 剖析了各种压阻式力敏硅传感器的结 构，介绍了其工作原理和测试方法并， 对力敏硅传感器结构的优劣作出分析， 为合理地选择、应用力敏硅传感器提 供了依据。...
    6. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    7. 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。...
    8. 《航空测试领域中的硅压阻传感器》PDF+DOC 本文叙述了中国航空测试领域中硅压阻传感器的历史，介绍了压阻传感器的特点并对航空测试用压阻传感器的发展提出了建议。...
    9. 《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究》PDF+DOC 设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差，将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响，及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计，提出了一种新颖的优化高g加速度传感器抗高过载能力的方法。该方法是在结构最易断裂的梁根部和端部添加倒角，以分散在冲击作用下传感器结构......
    10. 《低频光纤光栅加速度传感器》PDF+DOC 为了摆脱电磁干扰对磁电式传感器的影响，通过对光纤光栅加速度传感器力学模型分析，建立了加速度与波长变化间的数学模型，设计了低频光纤光栅加速度传感器。实验结果表明，光纤光栅加速度传感器幅频带宽为45 Hz，横向抗干扰能力为40 dB，能够满足工业测量需要。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。