《实现平面度测量电容传感器实验研究》PDF+DOC
作者:杨有粮
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2003年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2003010000
DOC编号:DOCCGSJ2003010009
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本文介绍了一种用于平面度测量的电容传感器的结构及其测量电路,提出了电容传感器的制作方法及实现平面度测量的设计方案。通过对该传感器进行实验研究和理论分析,给出了这种电容传感器可实现平面度测量的结论。
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