作者：朱长纯,韩建强,刘君华 单位：中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版：《电子元器件应用》2003年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQJY2003040030 DOC编号：DOCYQJY2003040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC1994年第06期 李志能,陆献尧,裴念 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊 《硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理》PDF+DOC2007年第Z1期 邢维巍,樊尚春 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC2006年第12期 樊尚春,乔少杰,张轩 《微谐振传感器同频干扰的建模与消除》PDF+DOC2006年第08期 陈健,陈德勇,王军波,杨苗苗,毋正伟,陈李 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第01期 焦正,吴明红 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC2000年第03期 《谐振式压力传感器的新进展》PDF+DOC1994年第01期 白韶红 《未来的传感器技术》PDF+DOC1986年第03期 G.R.Jordan,郭营川

    • 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。

    📙 相关资料

    1. 《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC 对硅微机械谐振式传感器的谐振频率计算提出了新的物理模型—两端固支薄板条模型，该模型不同于常说的硅桥（梁）或硅弦模型。计算结果表明该模型更符合实际，优于有关文献结果。...
    2. 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC 微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础，目前它已渗透到传统的传感器领域，高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构，而且可以做成三维...
    3. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
    4. 《硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理》PDF+DOC 为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题，并改善其可靠性和动态响应，提出在传感器原有结构上增加辅助传感器，构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值，可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制；可及时判断闭环系统失效；可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。......
    5. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...
    6. 《微谐振传感器同频干扰的建模与消除》PDF+DOC 主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题，分析了几种干扰源，建立了同频干扰的电路等效模型，提出一种基于双端激励/双端检测的结构，采用二次差分的方式消除同频干扰。...
    7. 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC 本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展，简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术，对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用。...
    8. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    9. 《谐振式压力传感器的新进展》PDF+DOC 本文介绍了近几年谐振式压力传感器的新成果和发展趋势。...
    10. 《未来的传感器技术》PDF+DOC 1.引言种种迹象表明在末来的十年中对传感器的需求量将继续增长。可以确信对各种形式传感器的年需求增长量可达10～15%，而新型压力传感器的年增长率可能最大。造价低、结构牢固、性能可靠、能与计算机控制系统配套的传感器应作为重点。不同领域对未来传感器的要求是不同的，例如各种工业过程中使用的传感...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。