《基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计》PDF+DOC
作者:颜黄苹,冯勇建,陈曦,卞剑涛
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2003年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2003080030
DOC编号:DOCYBJS2003080039
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采用溶胶-凝胶(Sol gel)法制备氧敏感膜,并对其不同的药品配比进行成膜质量与响应时间的测试与比较。设计一系列实验对该传感器的氧敏感机理进行研究。结合MEMS技术,设计MOSFET氧气微传感器结构,在器件中集成了加热元件和测温元件。实验结果表明:该传感器响应时间快,有较高的灵敏度,较好的重复性、选择性和稳定性。该传感器的机理研究与设计为基于MEMS技术的氧气微传感器的深入研究提供一定的参考。
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