作者:马文卓,陈向东,丁星 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2016年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2016060190 DOC编号:DOCCGQJ2016060199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 基于平面螺旋电感和现场可编程门阵列(FPGA)技术,系统设计了一种以频率为输出的电感式微位移传感器,实现了电感式传感器的数字化输出与检测。系统主要由位移/电感转换模块、电感检测电路、差频模块、FPGA四部分组成,并在FPGA系统中搭建NIOSⅡ软核,对采集所得数据进行处理。实验证明:系统具有灵敏度高,温度稳定性好等特点,其测量范围为0~15 mm,在0~6 mm范围内,最大误差为0.03 mm,分辨率达到10μm。

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