《乐甫波传感器及其应用进展》PDF+DOC
作者:潘海峰,朱惠忠,冯冠平
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2003年第12期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2003120010
DOC编号:DOCCGQJ2003120019
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乐甫波是声表面波的一种,它是在沉积于基片表面的薄层声波导中传播的波。介绍了乐甫波器件的构成和制造工艺,乐甫波传感器传感原理和常用的结构形式,论述了乐甫波传感器当前的研究情况。
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