作者：杨冰,杨银堂,李跃进 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003120250 DOC编号：DOCCGQJ2003120259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 锆钛酸铅压电材料(PZT)因具有优良的压电性能、热释电性能、铁电性能和介电性能而被广泛地应用在微电子机械系统(MEMS)中。基于微传感器，介绍了PZT薄膜，重点介绍了PZT薄膜在微传感器中的应用，并介绍了PZT薄膜微传感器的发展状况。

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