作者：隋成华,丰明坤 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2003年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2003050160 DOC编号：DOCBDTG2003050169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种用于测量真空度的光纤传感器，该传感器利用参考腔室中金属薄膜随系统真空度变化而产生线性形变的原理，采用一对450μm芯径的光学光纤分别做发射与接收光纤，通过测量基于光纤和金属薄膜的相对位移对反射光强信号的调制量，来确定真空度的变化。给出了该传感器探头的结构设计，并通过实验确定了光纤的最佳排列方式及初始位置。实验表明，在一定条件下该传感器所测得的反射光强信号和真空度的变化呈线性关系，并且具有良好的重复性。

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