作者：樊尚春,彭春荣 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11430 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11439 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ，讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ，采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ，特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ，设计、选择了加工工艺 ，给出了压敏电阻的近似温度补偿公式 ，讨论了传感器补偿电路的实现方案

    📙 相关资料

    1. 《多路传感器系统的自补偿和自校准技术的研究》PDF+DOC 分析了多路传感器系统的自补偿和自校准技术的发展趋势，并根据国内测试校准动态压力传感器的要求，对自补偿和自校准技术加以研究，而提出了适合应用的解决方案。...
    2. 《压阻型α((6H)碳化硅压力传感器可在高达600℃的高温下工作》PDF+DOC 新泽西州Leonia的Kulite Semi-conductor Products公司的研究人员研制成功一种基于膜片的压阻碳化硅(SiC)压力传感器，其工作温度可能超过600℃。这么高的温度范围远超过目前的常规硅传感器。KuliteSemiconductor Products公司首批生产的传感器工作......
    3. 《CCT型硅集成流量、温度和真空度多功能传感器》PDF+DOC 本文主要介绍了CCT多功能集成传感器的电路结构，主要特性和温度补偿。...
    4. 《半导体压力传感器的特性及应用》PDF+DOC 目前出现了这样一种趋势：将半导体压力传感器，尽可能地应用于工业用现场测量仪器上。由于电子技术的发展，即使在苛刻的环境中也能充分发挥半导体压力传感器所具有的良好特性，同时，现场测量仪器生产技术的提高，使上述这种过程是可能的。半导体压力传感器是靠本身将...
    5. 《压阻集成化的压力传感器》PDF+DOC 一、前言在很多新的领域里，已经出现了应用微型计算机的仪表和装置，这些装置一般都有一个或多个传感器，其低电平输出信号，在传输给远处的微型计算机之前，通过信号调整电路被放大。随着硅传感器工艺的进步，现在正在使传感器、信号调整电路做成一体的集成化传感器。...
    6. 《一种压阻式压力传感器温度补偿设计》PDF+DOC 介绍了一种温度补偿方法的基本原理，其解决了微型压阻式压力传感器温补问题；详细阐述了一种实用的整体补偿电路，并从理论上导出了分析计算公式，最后给出传感器整体的零位和灵敏度温度系数在补偿前后的对比情况。...
    7. 《压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析》PDF+DOC 运用二元函数的泰勒展开式给出了应变与温度交叉灵敏度大小的公式，阐明了其物理意义，并结合实际测量数据估计了交叉灵敏度；对于实际使用传感器和进行补偿具有一定的指导意义。...
    8. 《压阻式传感器温度误差补偿技术》PDF+DOC 介绍了一种简单实用的压阻式传感器零点温度误差补偿技术在恒流源供电下，可用计算机同时采集多个待补偿传感器的输出电压和电桥输入端电压，即可通过软件自动计算出补偿电阻的大小并确定补偿位置，通过实验获得了较好的补偿效果，可以方便的指导实际生产。...
    9. 《压力传感器温度漂移补偿的应用分析》PDF+DOC 压力传感器是工程中常用的测量器件，由于温度的影响，其零点经常发生漂移，因此需要对它进行温度补偿。文中介绍了硬件零点补偿和软件零点补偿两种方法，补偿压力传感器的温度漂移，提高传感器的性能及测量准确度。...
    10. 《压阻式压力传感器温度误差的数字补偿技术》PDF+DOC 压力传感器性能易受温度变化的影响，产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移，从而增加了测量结果的误差。根据压阻式压力传感器温度误差分析，提出了基于MAX1457芯片的数字补偿技术，对温度误差进行补偿，并运用到多个压阻式压力传感器上，在特定的温度允许下进行补偿。结果表明该种方法补偿精度高、稳定性好，有效地抑制......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。