作者：张兆华,岳瑞峰,刘理天 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2003年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2003120170 DOC编号：DOCBDTX2003120179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新的环振式数字加速度传感器 ，它采用做在硅梁上的 MOS环形振荡器作为敏感元件 ，两个反方向变化的环振输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减 .该传感器具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点 .分析了环形振荡器的频率特性 ，以及环形振荡器的谐振频率和加速度的关系 ，分析并设计了加速度传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构以及制作工艺 ，并制作了样品 ，其灵敏度为 6 .91k Hz/g。

    📙 相关资料

    1. 《混频式环振压力传感器》PDF+DOC 为了解决传感器的数字化，提出了一种新的环振式数字压力传感器，它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件，采用混频器作为片内的信号处理单元，实现环形振荡器的频率相减。该传感器的输出量为频率信号，具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点。样品的灵敏度为1.52kHz/kPa。...
    2. 《以环形振荡器作为敏感单元的加速度传感器》PDF+DOC 为了解决传感器的数字化，提出了一种新的数字加速度传感器。它是由两个环形振荡器和一个混频器组成的频率输出型加速度传感器，其敏感元件是做在硅梁上的MOS环形振荡器。该传感器具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点，其灵敏度可达到6.91kHz/g。分析了环形振荡器的频率特性，以及环形振......
    3. 《以混频器作为信号处理单元的环振式压力传感器》PDF+DOC 提出了一种新的环振式数字压力传感器，它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件，两个反方向变化的环形振荡器的输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减，分析了环形振荡器的频率特性，以及环形振荡器的谐振频率和压力的关系，分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构以及制作工艺，并制......
    4. 《一种用于TPMS的新型环振式数字压力传感器》PDF+DOC 研制了一种新型环振式数字压力传感器，它可应用于汽车轮胎压力监测报警系统(TPMS)。采用硅薄膜上的PMOS环形振荡器作为压力敏感元件，两个反方向变化的环振输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减。该传感器具有准数字输出、温度系数低、灵敏度高以及制作工艺简单等特点。分析并设计了压力传感器的环形振荡器......
    5. 《集成于无源RFID标签的温度传感器设计》PDF+DOC 针对无源无线射频识别(RFID)标签的低功耗设计要求，设计了一种基于环形振荡器的CMOS温度传感器。该传感器首先产生一个与绝对温度成正比PTAT电流，然后通过环形振荡反相器来产生相应的PTAT频率，最后利用计数器来实现频率—数字之间的转换。测试结果表明：该温度传感器实现了125 nW的超低功耗，在-......
    6. 《ICP加速度传感器恒定电流对其灵敏度的影响》PDF+DOC 在振动与冲击测试中，ICP加速度传感器应用较为广泛，而传感器灵敏度是其最基本的指标之一。实际使用时，ICP加速度传感器通常都会配有信号调节仪，该调节仪为ICP加速度传感器提供恒定电流，不同的信号调节仪所提供的恒定电流也会有所不同。在不同恒定电流情况下，传感器灵敏度是否随之变化，如何变化?针对这一问题......
    7. 《声表面波加速度计》PDF+DOC 悬臂梁声表面波加速度计是一种高分辨率(10~(-4)-10~(-5)m/s~2，高灵敏度(10kHz/m/s~2在251MHz)及高稳定性(频率稳定度10~(-9))的加速度计.它具有成本低、重复性好、结构简单、易集成等特点。...
    8. 《采用I~2L工艺制造的频率——模拟信号输出的敏感元件》PDF+DOC 集成化敏感元件的一个重要功能，是将输入的模拟信号变换为数字或频率—模拟信号。文章就此论述了I~2L(集成注入逻辑电路)环形振荡器在电容和电阻式传感器中的应用。通过对试验敏感元件片的研究，获得了不同的信号变换方法。作为单片集成频率—模拟敏感元件的一个例子，已经研制出了压力敏感元件，并且测得了它的灵敏度......
    9. 《集成PMOS环振式压力传感器》PDF+DOC 制造了一种集成PMOS环振式压力传感器，给出了它的结构、制造方法和初步的测试结果。...
    10. 《用于光探测和测量的环形振荡传感器》PDF+DOC 在集成电路中，时钟产生器和系统校准广泛采用环形振荡器。通过制造环形振荡器并测量它们的振荡频率，可以获取有关反相电路的传播延迟时间的直接信息。简单环形振荡器是将奇数个反相器的输出端和输入端首尾相连接而形成的。输出端从反馈路径的分接头抽出，为了获取更好的时钟性能，可以对输出端...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。