作者:刘危,解旭辉,李圣怡 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》2003年第05期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM2003050010 DOC编号:DOCGXJM2003050019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC2005年第02期 樊尚春,肖志敏,张庆荣 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《硅微机械惯性传感器技术及其应用》PDF+DOC2005年第01期 俞瑛 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC2011年第12期 李晶,樊尚春,李成,余朝发 《基于MEMS技术的汽车传感器研究进展》PDF+DOC2007年第04期 吕良,邓中亮,刘玉德,辛洪兵 《基于MEMS技术的微惯性传感器及在汽车上的应用》PDF+DOC2006年第02期 闫冬,管欣,高振海 《MEMS在惯性测量中的应用》PDF+DOC2001年第07期 李志信,罗小兵,过增元 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC2000年第08期 梁静秋 《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC2002年第03期 吴雄 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强
  • 对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究。最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望。

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